Simple overdense rf plasma source
McWilliams, R.; Edrich, D.; Platt, R. C.; Sheehan, D. P.
- 期刊名称Review of Scientific Instruments
- 作者McWilliams, R.; Edrich, D.; Platt, R. C.; Sheehan, D. P.
- 卷第61卷
- 期第11期
- 印刷ISSN0034-6748
- 文件大小642.91KB
- 发表时间1990
- DOI10.1063/1.1141603