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Thermal Stress Relaxation in Vapor Deposited Thin Films

Thermal Stress Relaxation in Vapor Deposited Thin Films

Noyan, I. C.; Goldsmith, C. C.

期刊名称Advances in X-ray Analysis
作者Noyan, I. C.; Goldsmith, C. C.
卷第34卷
印刷ISSN0376-0308
电子ISSN2631-3626
文件大小679.41KB
发表时间1990
DOI10.1154/S0376030800014907
页码587-600

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