Helium irradiation effects on structural properties of A1N thin films
N. Kobayashi; H. Kobayashi; I. Sakamoto; N. Hayashi
- 作者N. Kobayashi; H. Kobayashi; I. Sakamoto; N. Hayashi
- 印刷ISSN0022-3115
- 文件大小413.85KB
- 发表时间1991
- DOI10.1016/0022-3115(91)90126-r
- 页码469-472