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Influence of O2 and oxide on Cl/Si surface reactions

Influence of O2 and oxide on Cl/Si surface reactions

Nahomi Aoto; Eiji Ikawa; Takamaro Kikkawa; Yukinori Kurogi

作者Nahomi Aoto; Eiji Ikawa; Takamaro Kikkawa; Yukinori Kurogi
卷第247卷
期第1期
印刷ISSN0167-2584
文件大小76.53KB
发表时间1991
DOI10.1016/0167-2584(91)90651-7

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