Mix-and-match EBP/optical lithography of 1 Mbit chips
W. Zapka; S. Sonchik; U. Behringer; W. Haug; K. Meissner; S. Silverman; W. Ziemlich; H. Bohlen; W. Smith
- 作者W. Zapka; S. Sonchik; U. Behringer; W. Haug; K. Meissner; S. Silverman; W. Ziemlich; H. Bohlen; W. Smith
- 卷第13卷
- 印刷ISSN0167-9317
- 文件大小390.71KB
- 发表时间1991
- DOI10.1016/0167-9317(91)90111-p
- 页码357-360