Microfabrication of diamond films: selective deposition and etching
S. Miyauchi; K. Kumagai; K. Miyata; K. Nishimura; K. Kobashi; A. Nakaue; Jeffrey T. Glass; Ian M. Buckley-Golder
- 作者S. Miyauchi; K. Kumagai; K. Miyata; K. Nishimura; K. Kobashi; A. Nakaue; Jeffrey T. Glass; Ian M. Buckley-Golder
- 卷第47卷
- 印刷ISSN0257-8972
- 文件大小410.50KB
- 发表时间1991
- DOI10.1016/0257-8972(91)90312-k
- 页码465-473