Defect size distribution in VLSI chips

• 期刊名称IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
• 作者Glang, R.
• 卷第4卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0894-6507
• 文件大小561.78KB
• 发表时间1991
• DOI10.1109/66.97808
• 页码265-269