发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Polyimide etching in Ar, O2, and O2/F2 gas mixtures: Effect of ion energy

Polyimide etching in Ar, O2, and O2/F2 gas mixtures: Effect of ion energy

Tepermeister, I.

期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者Tepermeister, I.
卷第9卷
期第3期
印刷ISSN0734-2101
文件大小926.76KB
发表时间1991-5
DOI10.1116/1.577363

← 返回【学霸图书馆】主页