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Dry Etch Self-Aligned AlInAs/InGaAs Heterojunction Bipolar Transistors

Fullowan, T. R.; Pearton, S. J.; Kopf, R. F.; Ren, F.; Chen, Y. K.; Smith, P. R.; Chin, M. A.; Lothian, J.

期刊名称MRS Proceedings
作者Fullowan, T. R.; Pearton, S. J.; Kopf, R. F.; Ren, F.; Chen, Y. K.; Smith, P. R.; Chin, M. A.; Lothian, J.
卷第240卷
电子ISSN1946-4274
文件大小2001.55KB
发表时间1991-1
DOI10.1557/proc-240-285