发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Electron Cyclotron Resonance Plasma Processing of GaAs-AlGaAs Hemt Structures

Pearton, S. J.; Ren, F.; Lothian, J. R.; Fullowan, T. R.; Kopf, R. F.; Chakrabarti, U. K.; HUI, S. P.; Emerson, A. B.; Pei, S. S.

期刊名称MRS Proceedings
作者Pearton, S. J.; Ren, F.; Lothian, J. R.; Fullowan, T. R.; Kopf, R. F.; Chakrabarti, U. K.; HUI, S. P.; Emerson, A. B.; Pei, S. S.
卷第240卷
电子ISSN1946-4274
文件大小402.19KB
发表时间1991-1
DOI10.1557/proc-240-293