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Dry Etch Damage in GaAs P-N Junctions

Dry Etch Damage in GaAs P-N Junctions

Pearton, S. J.; Ren, F.; Abernathy, C. R.; Fullowan, T. R.; Lothian, J. R.

期刊名称MRS Proceedings
作者Pearton, S. J.; Ren, F.; Abernathy, C. R.; Fullowan, T. R.; Lothian, J. R.
卷第240卷
电子ISSN1946-4274
文件大小327.43KB
发表时间1991-1
DOI10.1557/proc-240-301

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