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USE OF THE HAZOP ANALYSIS FOR EVALUATION OF CVD REACTORS

USE OF THE HAZOP ANALYSIS FOR EVALUATION OF CVD REACTORS

CRAWFORD, W. W.; ZUBER, J. R.; KNOLLE, W. R.
  • 期刊名称Le Journal de Physique IV
  • 作者CRAWFORD, W. W.; ZUBER, J. R.; KNOLLE, W. R.
  • 卷第2卷
  • 印刷ISSN1155-4339
  • 文件大小337.27KB
  • 发表时间1991-09
  • DOI10.1051/jp4:1991256
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