Laserinterferometer zur berührungslosen Messung von Längenänderungen im Nanometer-Bereich

• 作者B. Zagar; H. Weiss; D. L. Chen; H. Hödl; B. Weiss; R. Stickler
• 卷第23卷
• 期第6期
• 印刷ISSN0933-5137
• 电子ISSN1521-4052
• 文件大小397.51KB
• 发表时间1992
• DOI10.1002/mawe.19920230603
• 页码197-200