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Measurement of optimum focus shift due to heating in high numerical aperture g-line lenses

Measurement of optimum focus shift due to heating in high numerical aperture g-line lenses

B. Martin

作者B. Martin
卷第17卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小346.02KB
发表时间1992
DOI10.1016/0167-9317(92)90023-k
页码113-116

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