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Annealing behavior of gold absorber in x-ray masks

Annealing behavior of gold absorber in x-ray masks

R.E. Acosta; W.A. Johnson; B.S. Berry; W.C. Pritchet

作者R.E. Acosta; W.A. Johnson; B.S. Berry; W.C. Pritchet
卷第17卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小323.37KB
发表时间1992
DOI10.1016/0167-9317(92)90039-t
页码189-192

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