Effects of Silicon Ion Implantation upon Thin Gate Oxide Integrity

Lee, G. -S.; Park, J. -G.; Choi, S. -P.; Shin, C. -H.; Sun, Y. -B.; Kwak, Y. -S.; Shin, C. -K.; Smith, W. L.; Hahn, S.

期刊名称MRS Proceedings
作者Lee, G. -S.; Park, J. -G.; Choi, S. -P.; Shin, C. -H.; Sun, Y. -B.; Kwak, Y. -S.; Shin, C. -K.; Smith, W. L.; Hahn, S.
卷第262卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1283.12KB
发表时间1992-1
DOI10.1557/proc-262-1043

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