Omcvd Elaboration and Characterization of Silicon Carbide and Carbon-Silicon Carbide Films from Organosilicon Compounds
Morancho, R.; Reynes, A.; Amjoud, M'b.; Carles, R.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Morancho, R.; Reynes, A.; Amjoud, M'b.; Carles, R.
- 卷第271卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小300.09KB
- 发表时间1992-1
- DOI10.1557/proc-271-939