Defect structure formation in silicon on grinding
T. S. Bartnitskaya; M. V. Vlasova; V. B. Zelyavskii; N. G. Kakazei; A. V. Kurdyumov; L. L. Sukhikh; V. I. Chistyakov
- 作者T. S. Bartnitskaya; M. V. Vlasova; V. B. Zelyavskii; N. G. Kakazei; A. V. Kurdyumov; L. L. Sukhikh; V. I. Chistyakov
- 卷第31卷
- 期第11期
- 印刷ISSN1068-1302
- 电子ISSN1573-9066
- 文件大小370.48KB
- 发表时间1992-11
- DOI10.1007/bf00797611
- 页码903-907