Ion implanted arsenic in silicon

• 作者Arne Nylandsted Larsen; Birgit Christensen; Peter H. Christensen; Sergey Yu. Shiryaev
• 印刷ISSN0168-583X
• 文件大小346.28KB
• 发表时间1993
• DOI10.1016/0168-583x(93)96212-u
• 页码697-701