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Target thinning using a saddle field ion source
George E. Thomas; John P. Greene
作者
George E. Thomas; John P. Greene
卷
第334卷
期
第1期
印刷ISSN
0168-9002
文件大小
426.03KB
发表时间
1993
DOI
10.1016/0168-9002(93)90540-x
页码
132-136
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