Advanced CIM environment for manufacturing data analysis
Miller, W.H. Jr.; Poole, M.W.
- 期刊名称IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
- 作者Miller, W.H. Jr.; Poole, M.W.
- 卷第6卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0894-6507
- 文件大小674.44KB
- 发表时间1993-5
- DOI10.1109/66.216931
- 页码128-133