Characteristics of TiSi2contact to BF2-doped single-silicon

• 作者J. S. Choi; S. H. Paek; Y. S. Hwang; S. H. Choi; D. W. Kim; H. K. Moon; J. K. Chung; W. S. Paek; T. U. Sim; J. G. Lee
• 卷第28卷
• 期第18期
• 印刷ISSN0022-2461
• 电子ISSN1573-4803
• 文件大小947.65KB
• 发表时间1993-09-15
• DOI10.1007/bf00361150
• 页码4878-4882