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Influence of temperature of nitriding of silicon

Influence of temperature of nitriding of silicon

V. L. Novikov; V. G. Abbakumov; L. V. Miroshnichenko; S. I. Romanov

作者V. L. Novikov; V. G. Abbakumov; L. V. Miroshnichenko; S. I. Romanov
卷第34卷
印刷ISSN1083-4877
电子ISSN1573-9139
文件大小479.02KB
发表时间1993-0102
DOI10.1007/bf01281290
页码26-29

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