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Metallic microdevices fabricated by deep-etch UV lithography

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W. Daniau; S. Ballandras; P. Berçot; D. Hauden

作者W. Daniau; S. Ballandras; P. Berçot; D. Hauden
卷第160卷
期第2期
印刷ISSN0921-5093
文件大小694.09KB
发表时间1993
DOI10.1016/0921-5093(93)90461-m
页码5-8

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