Slot antenna 2.45 GHz microwave plasma source

• 期刊名称Plasma Sources Science and Technology
• 作者Werner, F; Korzec, D; Engemann, J
• 卷第3卷
• 期第4期
• 印刷ISSN0963-0252
• 电子ISSN1361-6595
• 文件大小598.81KB
• 发表时间1994-11-01
• DOI10.1088/0963-0252/3/4/004
• 页码473-481