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Chemical stability of laminated AlN/AlN:H films

Chemical stability of laminated AlN/AlN:H films

X.D Wang; Ursula Mazur; K.W Hipps; J.T Dickson

作者X.D Wang; Ursula Mazur; K.W Hipps; J.T Dickson
卷第240卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小955.46KB
发表时间1994
DOI10.1016/0040-6090(94)90691-2
页码45-51

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