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Designing phase shift mask structures using SIMPHAD

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B.P. Mathur; K.I. Arshak

作者B.P. Mathur; K.I. Arshak
卷第26卷
期第1期
印刷ISSN0167-9317
文件大小700.32KB
发表时间1994
DOI10.1016/0167-9317(94)90043-4
页码37-47

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