发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Particle behaviour in an electron cyclotron resonance plasma etch tool

M. G. Blain; G. D. Tipton; W. M. Holber; G. S. Selwyn; P. L. Westerfield; K. L. Maxwell

作者M. G. Blain; G. D. Tipton; W. M. Holber; G. S. Selwyn; P. L. Westerfield; K. L. Maxwell
文件大小548.14KB
发表时间1994
DOI10.1088/0963-0252/3/3/014