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Structural, Optical and Electrical Properties of μc-Si:H Very Thin Films Deposited by the VHF-GD Technique

Flückiger, Roger; Meier, J.; Shah, A.; Catana, A.; Brunel, M.; Nguyen, H. V.; Collins, R. W.; Carius, R.

期刊名称MRS Proceedings
作者Flückiger, Roger; Meier, J.; Shah, A.; Catana, A.; Brunel, M.; Nguyen, H. V.; Collins, R. W.; Carius, R.
卷第336卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1473.11KB
发表时间1994-1
DOI10.1557/proc-336-511