Modelling of Multi-Ion-Beam Reactive Cosputtering for Metal Oxide Thin Films
Xiao, D. Q.; Zhu, J. G.; Qian, Z. H.; Peng, W. B.; Wei, L. F.; Li, Z. S.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Xiao, D. Q.; Zhu, J. G.; Qian, Z. H.; Peng, W. B.; Wei, L. F.; Li, Z. S.
- 卷第354卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小340.97KB
- 发表时间1994-1
- DOI10.1557/proc-354-517