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Structural, Optical and Electrical Properties of μc-SiC:H Thin Films Deposited by the VHF-GD

Structural, Optical and Electrical Properties of μc-SiC:H Thin Films Deposited by the VHF-GD

Fluckiger, Roger; Meier, J.; Shah, A.; Pohl, J.; Tzolov, M.; Carius, R.

期刊名称MRS Proceedings
作者Fluckiger, Roger; Meier, J.; Shah, A.; Pohl, J.; Tzolov, M.; Carius, R.
卷第358卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1236.50KB
发表时间1994-1
DOI10.1557/proc-358-793

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