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Film thickness measurements of SiO2 by XPS

D. F. Mitchell; K. B. Clark; J. A. Bardwell; W. N. Lennard; G. R. Massoumi; I. V. Mitchell

作者D. F. Mitchell; K. B. Clark; J. A. Bardwell; W. N. Lennard; G. R. Massoumi; I. V. Mitchell
卷第21卷
期第1期
印刷ISSN0142-2421
电子ISSN1096-9918
文件大小722.55KB
发表时间1994
DOI10.1002/sia.740210107
页码44-50