Studies on excimer laser doping of GaAs using sulphur adsorbate as dopant source

• 作者S. K. Zhang; K. Sugioka; J. Fan; K. Toyoda; S. C. Zou
• 卷第58卷
• 期第2期
• 印刷ISSN0947-8396
• 电子ISSN1432-0630
• 文件大小406.20KB
• 发表时间1994-02
• DOI10.1007/bf00332178
• 页码191-195