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Measurement of subsurface damage in silicon wafers

Measurement of subsurface damage in silicon wafers

U. Bismayer; E. Brinksmeier; B. Güttler; H. Seibt; C. Menz

作者U. Bismayer; E. Brinksmeier; B. Güttler; H. Seibt; C. Menz
卷第16卷
期第2期
印刷ISSN0141-6359
文件大小526.38KB
发表时间1994
DOI10.1016/0141-6359(94)90199-6
页码139-144

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