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Manufacture of amorphous carbon layers by r.f. dense plasma CVD

Manufacture of amorphous carbon layers by r.f. dense plasma CVD

Mitura, Stanislaw; Mitura, Ewa; Mitura, Anna

期刊名称Diamond and Related Materials
作者Mitura, Stanislaw; Mitura, Ewa; Mitura, Anna
卷第4卷
期第4期
印刷ISSN0925-9635
文件大小200.17KB
发表时间1995-4
DOI10.1016/0925-9635(94)05203-4
页码302-303

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