Atomic hydrogen-assisted ALE of germanium

• 作者Satoshi Sugahara; Masaru Kadoshima; Takuya Kitamura; Sigeru Imai; Masakiyo Matsumura
• 卷第90卷
• 期第3期
• 印刷ISSN0169-4332
• 文件大小534.67KB
• 发表时间1995
• DOI10.1016/0169-4332(95)00152-2
• 页码349-356