Fabrication and dynamic testing of electrostatic actuators with p+ silicon diaphragms
E.H. Yang; S.S. Yang; S.W. Han; S.Y. Kim
- 作者E.H. Yang; S.S. Yang; S.W. Han; S.Y. Kim
- 卷第50卷
- 印刷ISSN0924-4247
- 文件大小602.29KB
- 发表时间1995
- DOI10.1016/0924-4247(96)80100-2
- 页码151-156