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Transition gas flow in drag pumps and capillary leaks

Transition gas flow in drag pumps and capillary leaks

Helmer, John C.

期刊名称Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者Helmer, John C.
卷第13卷
期第5期
印刷ISSN0734-2101
文件大小432.01KB
发表时间1995-9
DOI10.1116/1.579456

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