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Electrical and Structural Properties of MeV Si+ Ion Implantation in Silicon

Electrical and Structural Properties of MeV Si+ Ion Implantation in Silicon

Agarwal, Aditya; Koveshnikov, S.; Christensen, K.; Rozgonyi, G. A.

期刊名称MRS Proceedings
作者Agarwal, Aditya; Koveshnikov, S.; Christensen, K.; Rozgonyi, G. A.
卷第378卷
电子ISSN1946-4274
文件大小2167.84KB
发表时间1995-1
DOI10.1557/proc-378-71

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