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Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon

Spectroscopic diagnostics of temperature-controlled trench etching of silicon

Ole Krogh; Robert N. Carlile; Robert N. Nowlin
  • 作者Ole Krogh; Robert N. Carlile; Robert N. Nowlin
  • 卷第15卷
  • 期第2期
  • 印刷ISSN0272-4324
  • 电子ISSN1572-8986
  • 文件大小1126.50KB
  • 发表时间1995-06
  • DOI10.1007/bf01459698
  • 页码231-255
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