Magnetron-sputtered carbon nitride (CNx) films

• 作者P.V. Kola; D.C. Cameron; B.J. Meenan; K.A. Pischow; C.A. Anderson; N.M.D. Brown; M.S.J. Hashmi
• 印刷ISSN0257-8972
• 文件大小868.73KB
• 发表时间1995
• DOI10.1016/0257-8972(95)08336-7
• 页码696-703