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Characterization of titanium thin films prepared by bias assisted magnetron sputtering

Characterization of titanium thin films prepared by bias assisted magnetron sputtering

H. S. Vijaya; G. Mohan Rao; S. Mohan; G. K. Muralidhar; G. N. Subbanna

作者H. S. Vijaya; G. Mohan Rao; S. Mohan; G. K. Muralidhar; G. N. Subbanna
卷第27卷
期第6期
印刷ISSN1073-5615
电子ISSN1543-1916
文件大小536.77KB
发表时间1996-12
DOI10.1007/s11663-996-0020-0
页码1057-1060

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