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Downscaling ULSIs by using nanoscale engineering

Downscaling ULSIs by using nanoscale engineering

Shojiro Asai; Yasuo Wada; Eiji Takeda

作者Shojiro Asai; Yasuo Wada; Eiji Takeda
卷第32卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小8729.19KB
发表时间1996
DOI10.1016/0167-9317(95)00182-4
页码31-48

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