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Theory of enhanced diffusion in predoped and implanted silicon

Theory of enhanced diffusion in predoped and implanted silicon

E. Antoncik

作者E. Antoncik
卷第37卷
印刷ISSN0921-5107
文件大小252.49KB
发表时间1996
DOI10.1016/0921-5107(95)01488-8
页码205-207

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