Electron Beam Direct Writing Techniques for the Development of Sub-Quarter-Micron Devices

T. Fujino; H. Maeda; Y. Kimura; H. Horibe; Y. Imanaga; H. Shinkawata; S. Nakao; T. Kato; Y. Matsui; M. Hirayama; A. Yasuoka

作者T. Fujino; H. Maeda; Y. Kimura; H. Horibe; Y. Imanaga; H. Shinkawata; S. Nakao; T. Kato; Y. Matsui; M. Hirayama; A. Yasuoka
文件大小1189.04KB
发表时间1996
DOI10.1143/JJAP.35.6320

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