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Profile Evolution during Pulsed Plasma Etching

Profile Evolution during Pulsed Plasma Etching

M. Tuda; K. Ono
  • 作者M. Tuda; K. Ono
  • 文件大小881.95KB
  • 发表时间1996
  • DOI10.1143/JJAP.35.L1374
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