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Sub-Half Micron Elevated SourceDrain NMOSFETS by Low Temperature Selective Epitaxial Deposition

Sun, J.; Bartholomew, R. F.; Bellur, K.; O'Neil, P. A.; Srivastava, A.; Violette, K. E.; Oztiirk, M. C.; Osburn, C. M.; Masnari, N. A.

期刊名称MRS Proceedings
作者Sun, J.; Bartholomew, R. F.; Bellur, K.; O'Neil, P. A.; Srivastava, A.; Violette, K. E.; Oztiirk, M. C.; Osburn, C. M.; Masnari, N. A.
卷第429卷
电子ISSN1946-4274
文件大小311.63KB
发表时间1996-1
DOI10.1557/proc-429-343