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Boron Transient Enhanced Diffusion in Heavily Phosphorus Doped Silicon

Boron Transient Enhanced Diffusion in Heavily Phosphorus Doped Silicon

Huang, M. B.; Myler, U.; Simpson, T. W.; Simpson, P. J.; Mitchell, I. V.

期刊名称MRS Proceedings
作者Huang, M. B.; Myler, U.; Simpson, T. W.; Simpson, P. J.; Mitchell, I. V.
卷第439卷
电子ISSN1946-4274
文件大小360.24KB
发表时间1996-1
DOI10.1557/proc-439-41

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