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Evolution of Surface Roughness During CVD Growth

Chason, E.; Mayer, T.M.; Adams, D.P.; Huang, H.; Diaz De La Rubia, T.; Gilmer, G.; Kellerman, B. K.

期刊名称MRS Proceedings
作者Chason, E.; Mayer, T.M.; Adams, D.P.; Huang, H.; Diaz De La Rubia, T.; Gilmer, G.; Kellerman, B. K.
卷第440卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1162.10KB
发表时间1996-1
DOI10.1557/proc-440-157