Growth Rate and Microstructure of Mo Film by Chemical-Vapour-Deposition
Yoshikawa, Noboru; Kikuchi, Atsushi
- 期刊名称Materials Transactions, JIM
- 作者Yoshikawa, Noboru; Kikuchi, Atsushi
- 卷第37卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0916-1821
- 电子ISSN2432-471X
- 文件大小1139.52KB
- 发表时间1996
- DOI10.2320/matertrans1989.37.283
- 页码283-288